光催化氧化法是目前研究較多的一項氧化技術。所謂光催化反應，_是在光的作用下進行的化學反應。光化學反應需要分子吸收特定波長的電磁輻射，受激產生分子激發態，然后會發生化學反應生成新的物質，或者變成引發熱反應的中間化學產物。光化學反應的活化能來源于光子的能量，在太陽能的利用中光電轉化以及光化學轉化一直是_活躍的研究領域。 光催化氧化技術利用光激發氧化將O2、H2O2等氧化劑與光輻射相結合。所用光主要為紫外光，包括uv-H2O2、uv-O2等工藝，可以用于處理污水中CCl4、多氯聯苯等難降解物質。另外，在有紫外光的Fenton體系中，紫外光與鐵離子之間存在著協同效應，使H2O2分解產生羥基自由基的速率大大加快，促進有機物的氧化去除。

光氧催化廢氣處理設備應用在煉油廠、橡膠廠、皮革廠、印刷廠、化工廠、中西藥廠、金屬鑄造廠、塑料_廠、餐飲業技術適用范圍牛皮紙漿、煉油、煉焦、石化、煤氣、糞便處理、制藥、合成樹酯、合成纖維、橡膠、氮肥、硝酸、煉焦、糞便處理、肉類加工、水產加工、食品配料、香精、畜產品加工、皮革、骨膠、油漆、溶劑、油墨印刷、垃圾處理、醫藥等行業 .